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ウェハ正面マーキング装置は、高精密運動プラットフォームと完全クローズドループ数値制御システム、高解像度CCD画像位置決め技術とAOI検査機能を採用し、ウェハの正面マーキングを行い、全自動正面ローディングとアンローディングを実現することができ、装置は完全に独立した知的財産権を有する。

1. 画像：±20um、プラットフォームの繰り返し：±10um、機械全体の精度：±125um。
2.8インチ、12インチウェハに対応。
3. 出力検出、リアルタイム補正に対応。
4. レーザー：カスタマイズされたレーザー、空冷式、モジュール化設計。
5. 実際のニーズに基づいて、各部品をカスタマイズすることができ、お客様のニーズに応じて、オプションで他の機能を追加することができる。