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    인라인 튜브식 PECVD 로딩&언로딩기
    제품 정보：
    인라인 튜브식 PECVD 로딩/언로딩기는 실리콘 웨이퍼를 웨이퍼 캐리어에서 PECVD 흑연 보트로, 또는 PECVD 흑연 보트에서 실리콘 웨이퍼 캐리어로 자동 적재하는 설비입니다.
    제품 장점：
    1. 속도: 6000pcs/h;
    2. 매우 낮은 파손률: ≤0.03%;
    3. PL 스테이션 미리 남겨두어 에어리어 스캔 및 라인 스캔 AOI 카메라와 호환 가능;
    4. Softtouch 다자인 컨셉으로 실리콘 웨이퍼 파편률 낮춤;
    자동 적재
    낮은 파손률
    높은 생산능력
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